반도체공정에서 불산(HF)의 회수와 형석 반도체공정에서 불산(HF)의 회수와 형석 <반도체 공정의 폐액 정수 및 배출> 디스플레이 공정은 반도체 제조공정과 같이 불소를 사용하여 공정기판의 표면세정합니다. 불산의 농도는 1%HF전후 이며, 불산처리후 초순수세정을 행하기 때문에, 실제로 수 PPM정도의 희석불산이 배수될것.. 카테고리 없음 2019.07.19
불산(HF)제조와 한마디... 불산(HF)제조와 한마디... 형석(CaF2)에다가 황산(H2SO4)를 반응시키면 불산이 만들어짐니다. 화학식은 간단합니다. 헌데, 발열이 있어서 장치를 잘해야 합니당. CaF2 + H2SO4 = 2HF + CaSO4 HF의 제조원료로 형석(CaF2)는 중국에서 생산되며, 반도체공정의 폐수중 HF를 Ca(OH)2로 침전으로 얻어진 CaF2를 이.. 카테고리 없음 2019.07.19