반도체공정에서 불산(HF)의 회수와 형석 반도체공정에서 불산(HF)의 회수와 형석 <반도체 공정의 폐액 정수 및 배출> 디스플레이 공정은 반도체 제조공정과 같이 불소를 사용하여 공정기판의 표면세정합니다. 불산의 농도는 1%HF전후 이며, 불산처리후 초순수세정을 행하기 때문에, 실제로 수 PPM정도의 희석불산이 배수될것.. 카테고리 없음 2019.07.19